EUVL (extreme ultraviolet lithography) | IT-Lexikon für Selbständige und Freiberufler

EUVL ist die Abkürzung für Extreme UltraViolet Lithography und bedeutet ein Verfahren zum Brennen integrierter Schaltkreise auf Molybdän-Silizium-Basis mit besonders kurzwelliger UV-Strahlung (13,5 Nanometer). Man verspricht sich von diesem Verfahren, das sich derzeit noch in der Entwicklung befindet, eine weitere Miniaturisierung der Schaltkreise, die dann Leiterbahnen von weniger als 16 Nanometern Breite enthalten sollen.